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沉庆天箭申请具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐
【概要描述】
- 分类:机械知识
- 作者:乐虎- lehu(游戏)
- 来源:
- 发布时间:2025-06-12 17:47
- 访问量:2025-06-12 17:47
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金融界 2024 年 12 月 9 日动静,沉庆天箭惯性科技股份无限公司申请一项名为“一种具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐振子布局”的专利,公开号 CN 119085618 A,专利摘要显示,本发现供给一种具有多功能电极的 MEMS 环形陀螺谐振子布局,包罗:基底、若干检测端检测电极、若干正交节制电极和若干驱动端检测电极;环形谐振子核心键合正在所述基底上,检测端检测电极和所述驱动端检测电极之间设置有正交节制电极,检测端检测电极、驱动端检测电极和正交节制电极环抱于环形谐振子外部;检测端检测电极和驱动端检测电极取正交节制电极之间有长方形径向裂缝检测端检测电极驱动端检测电极和正交节制电极取环形谐振子之间有第一裂缝。本发现实现了多个电极的合理结构及各电极的隔离,提高了陀螺不变性,消弭了正交误差对陀螺仪的影响,使陀螺机械活络度取信噪比大幅提拔的同时具备大带宽、低非线性等动态特征。
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